“啥叫干式微影？”顧北問道。
張文華沒想到顧北竟然對這種很專業(yè)的術語感興趣，想了想才解釋道：“所謂干式，是指就是指光刻機投影物鏡最后一個透鏡的下表面與硅片上的光刻膠之間用的是空氣做介質，顧名思義干式?！?br>
“那為啥不用液體呢？”
顧北突然問道。
“你說用液體？”張文華神情很詫異。
“為什么不行？”沒想到顧北的神情很認真：“不是要降低光的波長，光源出發(fā)是根本方法，水會改變光的折射率——這個高中生都知道吧？在透鏡和硅片之間加一層水，原有的193nm激光經(jīng)過折射，不就降低了嗎？”這段話還是顧北重生前在網(wǎng)上看到的，所謂的浸潤式原理。
“顧北，沒你想到這么簡單！”張文華口氣中帶著沮喪：“就在干式微影老攻克不下來的時候，我也想到了用液體做介質，但實驗了一段時間最后決定放棄。”
“為什么？”
“因為這里面有幾乎無法克服的苦難，如果用水，浸入環(huán)境很容易引起缺陷，包括氣泡和污染，還有抗蝕劑與流體或面漆的相容性問題，抗蝕劑的折射指數(shù)如何能大于1.8等等一系列問題都無法克服?！?br>
聽不懂......
“劉所長怎么想的？”顧北皺眉問道。
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